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Ilmenau Neue Ausstattung und hohe Erwartungen

Von Wolfgang Rauprich
Ilmenau: Neue Ausstattung und hohe Erwartungen
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Dr. Marcel Himmerlich (r.) erläuterte den Besuchern die Arbeit mit dem neuen Photoelektronenspektometer im ZMN. Foto: b-fritz.de Quelle: Unbekannt

Zwei Ätzanlagen zur Mikro- und Nanostrukturierung, ein Photoelektronenspektometer sowie ein Gerät zur hoch präzisen Laserbearbeitung erweitern die Forschungskapazität der TU Ilmenau.

 
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