Bedeutung für die Mikroelektronik

Anlässlich des regulären Treffens des Hochschulrats an der Hochschule Schmalkalden besuchten die Mitglieder dieses Gremiums das Reinraumlabor der Fakultät Elektrotechnik. Roy Knechtel, der dieses Labor für Forschung und Lehre intensiv nutzt und leitet, gab einen Einblick in die technologischen Möglichkeiten und neuen Anlagen, die für vielfältige Forschungen genutzt werden. Dies sind insbesondere die Wafer-Bondanlage, eine maskenlose Lithographielinie, ein Wafer-Prober und eine Sputteranlage. Letztere dient dazu, Metallsysteme wie Doppelschichten aus Chrom und Gold auf Substrate abzuscheiden, die Kontaktierungsebenen oder sensorische Strukturen letztlich ergeben.

Der Professor führte den Prozess vor, so- dass die Hochschulräte das sahen, was sonst den Studierenden gezeigt wird: Nämlich, wie ein Plasma erzeugt wird, es aussieht und letztlich den Übertrag von Metallen von Targets auf die Substrate ermöglicht. An dieser Stelle wurde intensiv über die praktische Ausbildung der Studierenden im Reinraum gesprochen. Knechtel stellte auch konkrete Forschungen vor, die anschaulich zeigten, wie wichtig technologische Verfahren für die moderne Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik sind.

Abschließend konnte noch ein Ausblick in die Zukunft gewagt werden, denn mittlerweile liegt ein Förderbescheid der Thüringer Aufbaubank für den Kauf eines Drucksystems zur 3D-Elektronikintegration vor. Somit können zukünftig komplexe Elektronik- und Sensoriklösungen umgesetzt werden.